靜電計(jì)如何用恒壓法測(cè)量大于1GΩ的高電阻？

恒壓法[1]測(cè)量高電阻，需要使用一臺(tái)能夠測(cè)量弱電流的儀器和一臺(tái)直流恒壓源。有些靜電計(jì)和皮安計(jì)[2]具有內(nèi)置的電壓源，能夠自動(dòng)地計(jì)算出未知電阻。
使用靜電計(jì)和皮安計(jì)的恒壓法的基本電路配置如圖2-30a所示。而圖2-30b則示出了使用SMU[3]，采用恒壓法進(jìn)行高電阻測(cè)量的情況。
在此方法中，恒壓源（V）與未知電阻（R）和安培計(jì)（IM）相串聯(lián)。由于安培計(jì)上的電壓降可以忽略，所以的測(cè)試電壓都出現(xiàn)在電阻R上。由安培計(jì)測(cè)量產(chǎn)生的電流，再使用歐姆定律計(jì)算出電阻（R = V/I）。
高電阻通常是所加電壓的函數(shù)，所以恒壓法比恒流法要*。在選定的電壓下進(jìn)行測(cè)量，就可以得到電阻與電壓的曲線，并可以決定 “電阻的電壓系數(shù)”。
采用這種方法的應(yīng)用工作包括測(cè)試兩端高阻器件、測(cè)量絕緣電阻、確定絕緣材料的體電阻率和表面電阻率等。
恒壓法需要測(cè)量弱電流，所以 第2.3節(jié)（弱電流測(cè)量[4]）介紹的各種技術(shù)和誤差來(lái)源都適用于這種方法。測(cè)量高電阻時(shí)兩個(gè)zui常見(jiàn)的誤差來(lái)源是靜電干擾和泄漏電流。如第2.6.2節(jié)所介紹，將高阻抗電路屏蔽可以盡量降低靜電干擾的影響。采用第2.3.1節(jié)介紹的保護(hù)技術(shù)可以控制泄漏電流的影響。