北京華測高溫四探針測試儀技術參數
1.測量溫度:室溫---600°C ;
2.控溫精度:±1℃
3.顯示精度:±0.1℃
4.升溫斜率:1-5°C/min
5.測量精度:0.05%
6.電阻率:10-5 ~105 Ω.cm
7.電導率:10-5 ~105 s/cm
8.方塊電阻:10-4 ~106 Ω/□
9.電阻:10-5 ~105 Ω
10.探針間距:2±0.01mm
11.探針壓力:0~2kg可調
12.針間絕緣電阻:≥1000MΩ
13.真空腔體漏率標準要小于10-9 Pa?m3/s
14.樣品:直徑15~30mm,厚度小于4mm
15.設備尺寸:680mmX450mmX400mm
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