高溫鐵電測試儀主要是由正弦波、三角波、間歇三角波、梯形波發(fā)生器及正、負矩形脈沖和雙極性雙脈沖發(fā)生器外加鐵電材料電滯回線、I-V特性及開關(guān)特性測量電路構(gòu)成。測試系統(tǒng)主要包括可編程信號源、微電流放大器、積分器、放大倍數(shù)可編程放大器、模/數(shù)轉(zhuǎn)換器數(shù)/模轉(zhuǎn)化器、微機接口部分、微機和應(yīng)用軟件等部分組成。

 

高溫鐵電測試儀采用虛地模式測量電路，與傳統(tǒng)的Sawyer-Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環(huán)節(jié)，比較容易定標(biāo)和，并且能實現(xiàn)較高的測量準確度，它不僅能畫出鐵電薄膜的電滯回線，還可以定量得到鐵電薄膜材料的飽和極化ps、剩余極化Pr、矯頑場Ec、漏電流Ik等參數(shù)，以及對鐵電薄膜材料鐵電疲勞、鐵電保持的測試。。儀器采用一體化設(shè)計，實現(xiàn)測試結(jié)果全數(shù)字化，操作簡單方便。