簡要描述:半導(dǎo)體封裝材料真空探針測試是一種能夠在高真空環(huán)境下進行精確測量和實驗的設(shè)備。其基本原理是利用真空環(huán)境下的物理現(xiàn)象和特性,對樣品進行各種實驗和測量。在高真空環(huán)境中,氣體分子很少,這有助于減少空氣阻力、空氣振動和其他干擾因素,從而獲得較為準確和可靠的實驗數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品分類
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品牌 | HUACE/北京華測 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
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半導(dǎo)體封裝材料真空探針測試
半導(dǎo)體封裝材料真空探針測試產(chǎn)品參數(shù):
腔體
樣品臺尺寸:2英寸
樣品固定:樣品固定
觀察窗口:2英寸
真空度:10-6 torr
探針臂接口:最多6個探針臂接口
其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式:液氮 / 液氦
控制方式:開循環(huán)手動
溫度范圍:77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K
溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K
穩(wěn)定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動行程:50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度:10μm / 1μm
光源:外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源
CCD:200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素
探針座
X-Y-Z 移動行程:X-Y-Z 移動行程
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度:10μm / 1μm
探針夾具
線纜:同軸線 / 三軸線 / 射頻線
漏電精度:10pA / 100fA / 10fA
固定探針:彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類型:BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口
探針
射頻支持:DC-67GHZ
針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質(zhì):鎢鋼 / 鈹銅
真空組件:分子泵組 / 機械泵
冷源組件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機
外形重量:730mm×750mm×1265mm(長寬高) 約100kg
防震桌參數(shù):
氣浮隔振防震桌
隔振方式:隔振方式
材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:<0.8μm
孔距:25×25mm
孔徑:M6
平臺尺寸(長寬):可定制
平臺厚度:50 / 100 / 200mm
固有頻率:.5Hz - 2Hz
支撐腿:氣浮支撐腿
支撐腿數(shù)量:4個 / 6個
支撐腿高度:800mm±10mm
其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制
產(chǎn)品參數(shù):
腔體
樣品臺尺寸:4英寸
樣品固定:樣品固定
觀察窗口:4英寸
真空度:10-6 torr
探針臂接口:最多6個探針臂接口
其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式:制冷機
控制方式:閉循環(huán)自動控制
溫度范圍:4.5K ~ 450K
溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K
穩(wěn)定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動行程:50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度:10μm / 1μm
光源:外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源
CCD:200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素
探針座
X-Y-Z 移動行程:X-Y-Z 移動行程
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度:10μm / 1μm
探針夾具
線纜:同軸線 / 三軸線 / 射頻線
漏電精度:10pA / 100fA / 10fA
固定探針:彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類型:BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口
探針
射頻支持:DC-67GHZ
針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質(zhì):鎢鋼 / 鈹銅
真空組件:分子泵組 / 機械泵
冷源組件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機
外形重量:730mm×750mm×1265mm(長寬高) 約100kg
防震桌參數(shù):
阻尼隔振防震桌
隔振方式:高級復(fù)合材料隔振
材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:<0.8μm
孔距:25×25mm
孔徑:M6
平臺尺寸(長寬):可定制
平臺厚度:50 / 100 / 200mm
固有頻率:6Hz - 8Hz
支撐腿:阻尼支撐腿
支撐腿數(shù)量:4個 / 6個
支撐腿高度:800mm±10mm
其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制
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